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含碳的氮化鋁燒結體用于半導體制造檢測設備的基材百度學(xué)術(shù)化專(zhuān)佛山陶瓷摘要本發(fā)明目的是提供一種能保持Ω或更大體積電阻率的氮化鋁燒結體,能保證覆蓋能力大的輻射熱量和用溫度顯示器測定時(shí)的準確度。本發(fā)明的含碳氮化鋁燒結體年版氮化鋁陶瓷基片生產(chǎn)項目可行性研究報告中商情報網(wǎng)一建立氮化鋁陶瓷基片生產(chǎn)項目實(shí)施管理機構二資金籌集安排三技術(shù)獲得與轉讓四勘察設計和設備訂貨五施工準備六施工和生產(chǎn)準備七

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氮化鋁陶瓷生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)研究現狀豆丁網(wǎng)年月日某單位引迚了俄羅斯的設備和技術(shù),生產(chǎn)出了氮化率為的氮化鋁粉末,但其體的氮化機理不法所需的氮氣壓力普遍較大,甚當氮氣壓力達

氮化鋁陶瓷生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)研究現狀高曉菊百度文庫年月日后再經(jīng)脫碳處理,得到純凈的氮化鋁粉體,反應方程式+++碳熱還原法因原料來(lái)源廣泛便宜,工藝設備簡(jiǎn)單,適合大批量生產(chǎn)。